簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="電激發光"


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    濺鍍氮氧化矽薄膜以及氮氧化矽/矽多層膜之結構與發光性質研究
    • /99/ 碩士
    • 研究生: 廖藝澤 指導教授: 周賢鎧
    • 本研究利用反應式磁控濺鍍(Magnetron sputtering)系統配合高真空下的熱退火製程,成功製備出含有不同氮、氧濃度之氮氧化矽(SiOxNy)單層薄膜以及氮氧化矽/矽(SiON/Si)之多…
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